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国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“用于投射曝光系统的照明光学单元的分面反射镜的单独反射镜”的专利，公开号CN121079626A，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于投射曝光设备（1）的照明光学单元（4）的分面反射镜（13；14）的可枢转安装的单独反射镜（20），其具有与方向相关的枢转范围。
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卡尔蔡司SMT申请用于投射曝光系统照明光学单元分面反射镜的单独反射镜专利，具有与方向相关的枢转范围
信息来源：zhaoming.biz 时间： 2026-09-06 浏览次数：11
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