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高科技器械和康比纳提公司申请光学系统和照射样品平面的方法专利,提高照明在样品平面强度分布的对称性

信息来源:zhaoming.biz   时间: 2025-04-06  浏览次数:119

  金融界2025年4月5日消息,国家知识产权局信息显示,高科技器械私人有限公司、康比纳提公司申请一项名为“光学系统和照射样品平面的方法”的专利,公开号 CN 119757297 A,申请日期为 2019年7月。

  专利摘要显示,各种实施例可以提供一种照射样品平面的方法。该方法可以包括设置照明子系统,该照明子系统包括光源和至少一个透镜,该照明子系统具有与样品平面的法线成大于0°且小于90°的入射角的原始光轴。使用在一次倾斜位置处的照明子系统在样品上产生参照照明分布。该方法还可以包括使照明子系统围绕沿着原始光轴、在光源与样品平面之间的枢轴点旋转至具有另一光轴的二次倾斜位置,使得由照明子系统在样品平面处产生的经调整的照明分布与由位于原始光轴处的照明子系统在样品平面处产生的参照照明分布相比的情况下强度分布的对称性提高。

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